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高熱傳導(dǎo)氮化硅基板

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高熱傳導(dǎo)氮化硅基板

高熱傳導(dǎo)氮化硅基板

碳化硅（SiC）材料可承受1400度以上高溫，耐藥性，耐電漿沖擊性能好，耐磨耗，導(dǎo)熱率高，機(jī)構(gòu)致密而且剛度和硬度很高。

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高導(dǎo)熱碳化硅基板：

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